[发明专利]静电电容式微机械超声换能器有效
| 申请号： | 202010078743.6 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111545438B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李炳喆;崔里诺;李活 | 申请（专利权）人： | 韩国科学技术研究院;仁荷大学校产学协力团;首尔大学医学院 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及静电电容式微机械超声换能器(CMUT)，其包括：基板；上部电极，与所述基板隔开配置；绝缘性的支撑部，结合于所述基板与所述上部电极的边缘部之间，以便固定并支撑所述上部电极的边缘部，并且在所述基板与所述上部电极之间限定出空隙；多个纳米柱，其两端固定并结合于所述空隙内的所述基板及所述上部电极上，当对所述上部电极施加电源时，所述多个纳米柱能够沿长度方向压缩及拉伸，以使所述上部电极至少进行上下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 式微 机械 超声 换能器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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