[发明专利]一种差分自混合干涉测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种差分自混合干涉测量系统及方法，该系统由随机偏振激光器发射激光束，形成两束光，一光束通过线偏振器和光衰减器后入射到被安置在载物台的待测物上，光束被待测物反射按原路返回进入随机偏振激光器的谐振腔，形成反馈光束；反馈光束与谐振腔内光束形成自混合干涉。另一光束入射到偏振分光棱镜进行偏振分光，分成一束为P偏振光，另一束为S偏振光；第一光电探测器探测P偏振光信号，第二光电探测器探测S偏振光信号；信号处理器分别与第一光电探测器以及第二光电探测器相连，将探测到的两路差分干涉信号，放大后再由信号采集器传输至计算机；计算机将采集到的两路干涉信号进行差分降噪后，进行处理可获得待测物的相关被测信息。