[发明专利]一种基于COMSOL Multiphysics的3维十字型霍尔器灵敏度计算方法有效
| 申请号： | 202010078369.X | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111308399B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 樊华;李苏杰;王江名;冯全源;李大刚;胡达千;岑远军 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R33/00 | 分类号： | G01R33/00;G01R33/07 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 陈一鑫 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
该发明公开了一种基于COMSOL Multiphysics的3维十字型霍尔器灵敏度计算方法，涉及微电子学与固体电子学领域，特别涉及霍尔传感器。从不同结构对于水平型霍尔传感器灵敏度存在不同影响的角度考虑，通过3维COMSOL模型进行仿真对比0μm至38μm不同叉指长度下相应的霍尔器件模型电压相关灵敏度，提出一款拥有较高灵敏度的水平霍尔传感器，其特征在于所述霍尔器件为90°旋转对称的十字型结构，传感器尺寸的上下和左右宽度为80μm，厚度为5μm，有源区采用硅材料2.6E+16cm |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 comsol multiphysics 字型 霍尔 灵敏度 计算方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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