[发明专利]一种掩膜板缺陷检测和颗粒去除的装置及方法在审
| 申请号： | 202010047753.3 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111158219A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈创创 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板缺陷检测和颗粒去除的装置及方法。缺陷检测模块、工作台、气体电离模块、气体喷淋模块和掩膜板卡盘；工作台上设置有第一方向移动台、第二方向移动台和第三方移动台；第一方向移动台和第二方向移动台带动掩膜板卡盘沿第一方向和第二方向移动，第三方向移动台带动缺陷检测模块沿第三方向移动；其中，第一方向、第二方向以及第三方向两两垂直；掩膜板卡盘，用于放置待处理掩膜板；缺陷检测模块，用于检测获取待处理掩膜板的缺陷信息；气体电离模块，用于产生电离气体；气体喷淋模块的进气端连接气体电离模块的出气端，用于将电离气体喷向待处理掩膜板上的缺陷所在位置。该装置能够实现颗粒高效定点去除，提高颗粒去除效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 缺陷 检测 颗粒 去除 装置 方法 | ||
【主权项】：
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