[发明专利]一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置

摘要

本发明公开了一种跨温区电子/离子致解吸和二次电子产额综合测试装置，包括标准真空室、第一涡轮分子泵及机械泵机组、标准气体管道、真空截止阀、真空测试腔体、样品架、电子枪、离子枪、离子泵、第二涡轮分子泵及机械泵机组、用于检测样品架上样品表面温度的温度测试仪、用于检测真空测试腔体内真空度的第一复合真空计、用于检测样品架上样品表面电流信号的电流表、用于检测标准真空室内真空度的第二复合真空计以及用于调节样品架上样品温度的温度调节系统，该装置能够实现跨温区的电子/离子致解吸产额和二次电子产额的同时测试。