[发明专利]一种体声波谐振器的底电极结构及工艺方法有效
| 申请号： | 202010042966.7 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111200414B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李林萍;盛荆浩;江舟 | 申请（专利权）人： | 见闻录（浙江）半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 陈远洋 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市康*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器的底电极结构及工艺方法，通过在衬底上制作出空腔，并在空腔上方制作底电极层，在底电极层周围施加绝缘材料层以使得绝缘材料层的表面与底电极层的表面保持平坦，提高压电层的应力一致性，在绝缘材料层和底电极层的表面上制作压电层以使得压电层不接触衬底，减小压电层的应力影响，使器件的机电耦合系数控制在最佳范围，提高谐振器品质因素、器件良率和器件成品的一致性和可靠性，并且使器件的有效谐振面积更大更接近空腔但不超出空腔，可以减小器件尺寸约5％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 电极 结构 工艺 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于见闻录（浙江）半导体有限公司，未经见闻录（浙江）半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010042966.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
