[发明专利]光学检测系统以及光学检测方法有效
| 申请号： | 202010037189.7 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111157541B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 季迪 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 230037 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学检测系统以及光学检测方法，光学检测系统包括：入射组件，能够提供入射光线；光线调制装置，设置在入射光线的传输光路上，光线调制装置包括呈阵列分布的多个微反射镜，各微反射镜能够反射入射光线使得入射光线照射到待测基板的表面。且光线调制装置被配置为根据待测基板的表面形状调制入射光线在待测基板表面的入射角度，入射光线经待测基板反射形成测试光线；以及图像采集装置，设置在测试光线的传输光路上，图像采集装置能够采集测试光线并转化成待测基板的灰度图。本发明提供的光学检测系统以及光学检测方法，能够提高光学检测系统检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检测 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
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