[发明专利]长距离端面粗糙晶体体内缺陷测量装置和方法有效
| 申请号： | 202010031413.1 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111208089B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 刘诚;何思源;潘兴臣;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种长距离端面粗糙晶体体内缺陷测量装置，包括第一准直光束、第二准直光束、第一可变光阑、第二可变光阑、第一偏振分束器、第二偏振分束器、第一标准反射镜、第二标准反射镜、第一透镜、第二透镜、第一波前调制器、第二波前调制器、供第一波前调制器放置的第一二维平移台、供第二波前调制器放置的第二二维平移台、第一光斑探测器、第二光斑探测器和计算机，且所述的第一光斑探测器、第二光斑探测器的输出端分别与计算机相连；利用衍射光斑通过匹配的迭代算法就可以实现待测波前复函数的快速重建，进而对待测晶体的缺陷实现快速筛查。测量装置简单可操作性强，可应用于元件的精密检测，具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 长距离 端面 粗糙 晶体 体内 缺陷 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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