[发明专利]一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜

摘要

本发明涉及光学技术领域和MEMS领域，具体为一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜，其结构为：柔性聚合物放置在两层不同厚度的玻璃层中间。两片环形电极致动器分别连接在与聚合物相连的玻璃薄膜的下底面，支撑玻璃的上底面。当给电极施加电压时，电极之间产生的库仑力会迫使玻璃薄膜弯曲，从而使整体形成透镜结构，不同的电压会使得玻璃薄膜有不同的弯曲曲率，从而使得微透镜的焦距发生改变。微透镜是一种典型的微米级MEMS集成产品，其具有体积小，功耗低，无磁干扰，变焦范围广以及响应快速等优点。