[发明专利]一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜

权利要求书

1.一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜，其特征在于：包括2片环形电极（2）、玻璃薄膜（1）、柔性聚合物和支撑玻璃（4），其中一片环形电极（2）连接在玻璃薄膜（1）的下底面，另一片环形电极（2）连接在支撑玻璃（4）的上底面，柔性聚合物的上端面和下端面分别连接在玻璃薄膜（1）的下底面和支撑玻璃（4）的上底面，柔性聚合物的上端和下端分别位于上下环形电极（2）的环内，上下环形电极（2）的环面相对。

2.根据权利要求1所述的一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜，其特征在于：微透镜变焦由静电驱动，通过控制所加电压的大小控制微透镜的焦距。

3.根据权利要求2所述的一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜，其特征在于：玻璃薄膜（1）是二氧化硅玻璃薄膜。

4.根据权利要求3所述的一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜，其特征在于：柔性聚合物是微透镜的透镜体，其材料可以是聚合物凝胶、橡胶、线性分支聚合物或低聚合物油。

5.根据权利要求4所述的一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜，其特征在于：制作柔性聚合物的材料是PDMS溶液，PDMS溶液是由道康宁SYLRARD184的A溶液和B溶液以20：1重量比混合的溶液。

6.根据权利要求5所述的一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜，其特征在于：将配制好的PDMS溶液注入模具中加热塑型，从而制作出圆柱形PDMS薄膜（3）。

7.根据权利要求1或2或3或4或5或6所述的一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜，其特征在于：通过MEMS制造工艺中的光刻工艺和剥离工艺把环形电极集成在玻璃薄膜（1）或支撑玻璃（4）上的制作过程如下：

a.支撑玻璃表面的处理：用丙酮、乙醇溶液分别超声清洗玻璃薄膜（1）或支撑玻璃（4），之后用去离子水冲洗，氮气吹干，再将其置于用烘箱烘干，冷却待用；

b.涂光刻胶：采用旋涂法用甩胶机旋涂光刻胶；

c.前烘：将旋涂光刻胶的玻璃薄膜（1）或支撑玻璃（4）放置在加热板上加热并自然冷却至室温，从而完成胶层的前烘固化；

d.对准和曝光：首先把圆环形状的图案在玻璃薄膜（1）或支撑玻璃（4）上方准确定位或对准，其次通过曝光将圆环形状图案转移到光刻胶涂层上；

e.后烘：使曝光区域的胶层能够充分发生交联反应进而形成致密结构；

f.显影：通过有机溶剂二甲苯溶液将没有被紫外光照射的圆环形状胶层溶解、去除；

g.硬烘：把玻璃薄膜（1）或支撑玻璃（4）放置在加热板上加热；

h.镀膜：用镀膜的方法在有光刻胶的玻璃薄膜（1）或支撑玻璃（4）一面镀一层金属薄膜，在有光刻胶的地方，金属薄膜形成在光刻胶上，而没有光刻胶的地方，金属薄膜就直接形成在玻璃薄膜（1）或支撑玻璃（4）上；

i.剥离：采用湿法剥离的方法，当使用强酸或强碱溶液在加热的条件下去剥离基片上的胶层时，不需要的金属薄膜就随着胶层的剥离而脱落在溶剂中，而直接形成在玻璃薄膜（1）或支撑玻璃（4）上的金属薄膜部分则保留下来形成环形电极（2）,至此环形电极集成在了支撑玻璃上。