[发明专利]微机电系统装置的制造方法有效
| 申请号： | 202010026087.5 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111204703B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 曾立天;钱元晧 | 申请（专利权）人： | 苏州明皜传感科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种微机电系统装置的制造方法，包含提供三基板；第一基板包含第一以及第二电路；第二基板定义第二和第三连接区域；第三基板定义第一连接区域；第一连接区域以及第二连接区域对应连接；第二基板的第一可动组件与第三基板空间上分离，第二可动组件经由任一第一连接区域及被连接的对应第二连接区域与第三基板连接；第一基板与第二基板接合且第四及第三连接区域对应连接，第一电路与第一可动组件电性连接，第二电路与第二可动组件相对应；薄化第三基板；分割第三基板为第一及第二盖体，第一盖体对应于第一可动组件，第二盖体与第一基板之间形成一气密空腔以感测外部环境的压力变化，第二可动组件随着该第二盖体因外部环境的压力变化而连动，微机电系统装置可借由单一制程整合压力传感器以及感测其它物理量的微机电系统结构于单一微机电系统装置中。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
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