[发明专利]电驱动光学天线光源及其制作方法在审
| 申请号： | 202010021762.5 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111293196A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 张顺平;唐继博;胡华天;何小波;徐红星 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电驱动光学天线光源及其制作方法，该光源包括：SOI基底、金属电极、硅波导和纳米尺度的光学天线；金属电极和硅波导均设置在所述SOI基底的表面，金属电极分别与所述外接电路的高压端和低压端连接；硅波导分别与金属电极连接且硅波导之间形成一个沟槽；光学天线位于所述沟槽内与两个硅波导接触，光学天线包括金属纳米颗粒以及均匀覆盖在其外表面的一层绝缘介质层。本发明具有响应速度快、耦合效率高、集成度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 光学 天线 光源 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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