[发明专利]电气小车系统有效
| 申请号： | 202010021754.0 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111105977B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 王宏伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电气小车系统，用于半导体设备，包括整机支架、电气车体，该电气小车系统还包括：导向轴；第一连接结构，分别与导向轴和整机支架连接；第二连接结构，分别与导向轴和电气车体连接；并且，第一连接结构和第二连接结构被设置为使电气车体能够围绕导向轴转动，整机支架相对于导向轴固定不动。本发明提供的电气小车系统，能够减少电气车体转动不畅的情况发生，并能够降低电气小车系统的安装及加工难度。 | ||
| 搜索关键词： | 电气 小车 系统 | ||
【主权项】：
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