[发明专利]一种制备抗倒伏微结构的加工方法在审
| 申请号： | 202010016265.6 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111115568A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 夏锦涛;陶卫东;丁阿飞;孟祥俊 | 申请（专利权）人： | 宁波大学;宁波格特威电机有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 徐雪波;王莹 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种制备抗倒伏微结构的加工方法，制备待加工的目标微结构体的同时，在目标微结构体的下方同时制备与基底有更大固结面积且与目标微结构体一体的支撑微结构体。本发明中的制备抗倒伏微结构的加工方法，在目标微结构体的下方同时制备与基底有更大固结面积的支撑微结构体，如此提高了微结构在基底上的连接牢固性，特别对于与基底的接触面积小且高度较高的目标微结构体，由于支撑微结构体与基底的可靠连接，以及支撑微结构体与目标微结构体一体连接，可有效避免目标微结构体相对于基底发生倒伏的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 倒伏 微结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波大学;宁波格特威电机有限公司，未经宁波大学;宁波格特威电机有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010016265.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
