[发明专利]一种正性光敏聚酰亚胺树脂及其制备方法有效
申请号: | 202010014566.5 | 申请日: | 2020-01-07 |
公开(公告)号: | CN111333837B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 上海极紫科技有限公司 |
主分类号: | C08G73/10 | 分类号: | C08G73/10;G03F7/039 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201805 上海市嘉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型正性光敏聚酰亚胺树脂及其制备方法,其结构中带有长的烷烃支链,支链末端是可以与碱显影液相互作用的羧基基团。本发明公布的正性光敏聚酰亚胺树脂制备工艺简单,反应条件温和,易放大生产。由于该树脂在制备过程中已经完全亚胺化,所以光刻图形后不需要高温固化处理,而羧基定位在长的烷基支链末端更容易发生低温固化。该光敏树脂也无须低温保存,由该聚酰亚胺树脂所制备的光刻胶具有对环境友好、对比度高、固化温度低等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 光敏 聚酰亚胺 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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