[发明专利]用于体声波谐振器的具有阶梯布置的顶部电极在审
| 申请号： | 202010013446.3 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111435831A | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 阿里礼萨·塔切克;保罗·斯托克斯;罗伯特·艾格纳 | 申请（专利权）人： | QORVO美国公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 王红艳 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及用于体声波谐振器的具有阶梯布置的顶部电极。公开了体声波(BAW)谐振器，尤其是用于BAW谐振器的具有阶梯布置的顶部电极。公开了在压电层上的顶部电极，该顶部电极包括具有双阶梯布置的边界(BO)区域，其中朝向顶部电极的周边边缘增加高度来形成内阶梯和外阶梯。介电间隔层可以设置在外阶梯和压电层之间。公开了钝化层，该钝化层在顶部电极上方延伸到压电层的周边边缘或从压电层的周边边缘插入。压电层可以布置为厚度减小的部分位于顶部电极未覆盖的区域。本文所公开的BAW谐振器具有高品质因数并抑制了寄生模式，同时还提供了被移位远离此类BAW谐振器的通带的弱化BO模式。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 声波 谐振器 具有 阶梯 布置 顶部 电极 | ||
【主权项】：
暂无信息
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