[发明专利]高分辨率扫描显微术

摘要

本发明涉及一种样品的高分辨率扫描显微术，其中实行以下步骤：a)通过照明辐射照明样品，b)将点在空间分辨表面检测器上成像为衍射图像，其中衍射结构被分辨，c)在至少两个扫描方向上相对于样品移位点，且在各种扫描位置中从检测器像素中读取像素信号，其中像素信号分别分配到扫描位置，并且相邻的扫描位置彼此重叠而且根据扫描增量来设置，d)生成样品的图像，图像的分辨率提高至超过成像的分辨率极限，其中，在步骤d)中基于所读取的像素信号和所分配的扫描位置且基于点扩散函数来实行解卷积，其中基于像素信号和样品的图像，在解卷积中对于扫描方向中的至少一个扫描方向生成中间位置，该样品的图像包含比扫描位置更多的图像点。