[发明专利]高分辨率扫描显微术

权利要求书

1.一种样品(P)的高分辨率扫描显微术，其中实行以下步骤：

a)通过照明辐射(B)在所述样品(P)中或所述样品上的点(14)处照明所述样品(P)，

b)将所述点(14)沿着光轴且根据点扩散函数在包括检测器像素(31)的空间分辨表面检测器(17)上成像为衍射图像(18)，其中所述衍射图像(18)的衍射结构(18a)被分辨，

c)在至少两个扫描方向上相对于所述样品(P)移位所述点(14)，且在各种扫描位置(32)中从所述检测器像素中读取像素信号，其中所述像素信号被分别分配到在该处读出所述像素信号的扫描位置(32)，并且相邻的扫描位置(32)彼此重叠而且根据扫描增量(d)来设置，

d)从所读取的像素信号和所分配的扫描位置(32)生成所述样品(P)的图像，所述图像的分辨率提高至超过成像的分辨率极限，

其中，在步骤d)中基于所读取的像素信号和所分配的扫描位置(32)且基于所述点扩散函数来实行解卷积，其中基于所述像素信号和所述样品(P)的图像，在所述解卷积中针对所述扫描方向中的至少一个扫描方向生成中间位置，所述样品(P)的图像包含比扫描位置(32)更多的图像点。

2.根据权利要求1所述的方法，其中步骤c)中的所述扫描增量(d)大于所述点扩散函数的半高宽。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述解卷积期间，所述像素信号是对于每个扫描位置(32)傅里叶变换的，且在傅里叶空间中生成所述中间位置。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，实行线性解卷积。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述扫描方向包括与所述光轴对齐的z方向，并且将所述点(14)相对于所述样品(P)在所述z方向上间隔开的至少两个扫描平面中移位，并且在步骤d)中，生成所述样品的图像的z堆栈，其中所述堆栈中的z间隔小于所述z方向上的所述扫描增量(d)。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述点扩散函数不是为了生成不对称性的目的而进行操纵，并且在所述三维重构中通过来自重叠区域的图像信息来确定关于所述焦平面的绝对位置。

7.根据权利要求1所述的方法，其中将所述点在扫描方向中的至少一个扫描方向上连续地移位，并且在所述扫描方向上所读出的时间设定扫描位置。

8.一种用于样品(P)的高分辨率扫描显微术的显微镜，包括：

-照明光束路径，用于照明所述样品(P)中或所述样品(P)上的点(14)，

-成像光束路径，用于沿着光轴将所述点(14)在具有检测器像素(31)的空间分辨表面检测器(17)上衍射受限地成像为衍射图像(18)，其中所述成像光束路径具有点扩散函数且所述表面检测器(17)对所述衍射图像(18)的一个衍射结构(18a)进行分辨，

-扫描装置(10)，用于在至少两个扫描方向上相对于所述样品(P)移位所述点(14)，

-评估装置(C)，所述评估装置以控制的方式连接到所述表面检测器(17)和所述扫描装置(10)，并且所述评估装置被配置为：

--致动用于相对于所述样品(P)移位所述点(14)的扫描装置(10)，

--从所述检测器像素(31)中读取关于扫描位置的像素信号，并且将所述像素信号分配到在该处读取所述像素信号的相应的扫描位置(32)，其中相邻的扫描位置(32)重叠并且根据扫描增量(d)来设置，

--从所读取的像素信号和所分配的扫描位置(32)中生成所述样品(P)的图像，所述图像的分辨率提高至超过所述成像光束路径的分辨率极限，

其中，所述评估装置(C)还被配置为基于属于相应的读出时间的所读取的像素信号和扫描位置(32)且基于所述点扩散函数来实行解卷积，其中所述评估装置(C)被配置为基于所述像素信号，在所述解卷积中针对所述扫描方向中的至少一个扫描方向生成中间位置，以及生成所述样品(P)的图像，所述图像包含比扫描位置(32)更多的图像点。