[发明专利]一种电子显微真空系统故障位置报警装置在审
| 申请号： | 202010008205.X | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN111128659A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨艳娜;郭新勇;张康;李盛 | 申请（专利权）人： | 河南河大科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/244;G01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 475000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子显微真空系统故障位置报警装置。本发明包括：分级真空系统(1)；真空测量规(2)；计时器（3）；报警器(4)。本发明适用于电子显微镜真空系统的异常提示和故障定位，用来监测电镜分级真空系统中具体的故障位置，保护仪器，为检修提供依据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 显微 真空 系统故障 位置 报警装置 | ||
【主权项】：
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