[发明专利]确定压力的方法和压力传感器在审
| 申请号： | 201980100546.5 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN114424039A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | C·斯特里策尔;U·瓦奇利;S·凯瑟尔;C·里施;B·安德烈奥斯;M·维德尔 | 申请（专利权）人： | 英福康有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32;G01L21/34;H01J41/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;刘春元 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于确定真空系统中的压力的方法，其中所述方法包括以下步骤：a）在样品室中产生（101）等离子体，所述样品室与所述真空系统流体动态连接并且与第一电极和第二电极电接触；b）测量（102）在所述第一电极和所述第二电极之间流过所述等离子体的电流的电流强度；c）测量（103）从所述等离子体发射的第一波长范围的电磁辐射的第一辐射强度，其中所述第一波长范围包含第一化学元素的第一等离子体物质的至少一个第一发射线；d）测量（104）从所述等离子体发射的第二波长范围的电磁辐射的第二辐射强度，其中所述第二波长范围包含所述第一化学元素的第一等离子体物质的第二发射线或所述第一化学元素的第二等离子体物质的第二发射线，以及其中所述第二发射线位于所述第一波长范围外；以及e）根据所测量的电流强度、所测量的第一辐射强度和所测量的第二辐射强度确定（105）所述真空系统中的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 压力 方法 压力传感器 | ||
【主权项】：
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