[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法在审
| 申请号： | 201980085003.0 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN113226976A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | H·阿尔特曼;T·弗里德里希;C·赫尔梅斯;P·施莫尔林格鲁贝尔;H·韦伯;J·赖因穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机械构件，其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a)，其中，所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36)，其中，针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38)，关于所述对称平面，至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构(20a)的第二边缘元件结构(34)是镜像对称的，其中，在所述支撑结构(20a)中的每个中，其第一边缘元件结构(32)的垂直于其对称平面(38)的第一最大延展(a1)及其第二边缘元件结构(34)的垂直于其对称平面(38)的第二最大延展(a2)大于其至少一个中间元件结构(36)的垂直于其对称平面(38)的至少一个最大延展(a3)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 构件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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