[发明专利]测量样品表面的局部定向和/或高度的彩色共焦测量设备及方法有效
| 申请号： | 201980079694.3 | 申请日： | 2019-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN113490832B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 杰罗姆·盖拉德-格罗利斯;塞巴斯蒂安·热朗;加布里埃尔·穆修 | 申请（专利权）人： | 卢米埃科学与工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 谭营营;胡彬 |
| 地址： | 法国普罗旺*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对样品表面(S)的局部高度和/或定向进行彩色共焦测量的设备(1)，该设备(1)包括：‑被配置为产生多色光束(9)的光源(2)；‑投影透镜(4)，包括具有轴向色差的透镜(4)，其被配置为将光束(9)施加到样品表面(S)；‑光学传感器，其被配置为接收由样品表面(S)反射的光束(9)，并测量在积分间隔内接收到的反射光束(9)的总能量；‑扫描系统(10)，其耦合到投影透镜(4)并被配置为移动光束(9)相对于投影透镜(4)的传播轴，从而使光学传感器测得的总能量对应于由样品表面(S)反射的光束(9)的总能量的动态空间平均值。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 样品 表面 局部 定向 高度 彩色 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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