[发明专利]对被测器件具有改进的接触性能的垂直探针头在审
| 申请号： | 201980073132.8 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN113039444A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 斯太法罗·费利奇 | 申请（专利权）人： | 泰克诺探头公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;侯晓艳 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于测试集成在半导体晶片(24)上的被测器件的测试探针(20)，包括彼此平行且间隔开的上导引件(21)和下导引件(22)，每个所述导引件(21，22)分别设有多个导引孔(21h，22h)，多个接触探针(23s，23d)容纳在所述导引孔(21h，22h)中并且每个接触探针设有第一端(23a)和第二端(23a)，所述第一端(23a)适于连接被测器件的接触垫(24a)；以及与所述导引件(21，22)之一相关联的至少一个附加导引件(26，28)，所述附加导引件(26，28)基本平行于上导引件(21)和下导引件(22)并且布置在上下导引件之间。适当地，附加导引件(26，28)包括容纳第一组(23s)接触探针的第一导引孔(26s，28s)和容纳第二组(23d)接触探针的第二导引孔(26d，28d)，其中第一和第二导引孔(26s，26d，28s，28d)相对于所述附加导引件(26，28)相关联的导引件的导引孔移动，并且其中第一导引孔(26s，28s)的移动方向与第二导引孔(26d，28d)的移动方向相反，导致第一组(23s)接触探针的端部的擦洗运动方向与第二组(23d)接触探针的擦洗运动方向相反。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 具有 改进 接触 性能 垂直 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于泰克诺探头公司，未经泰克诺探头公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980073132.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有降低的延迟破裂的强化玻璃制品及其制造方法
- 下一篇：空间准共址冲突处理
