[发明专利]加工系统以及加工方法有效
| 申请号： | 201980071312.2 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112930242B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 江上茂树;立崎阳介 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/03;B23K26/08 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区港南二丁目1*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提高物体加工的便利性及性能的加工系统及加工方法。加工系统包括：照射光学系统，将来自光源的能量射束照射至物体；物体载置装置，载置物体；受光装置，设于物体载置装置，接受来自照射光学系统的能量射束；及测量装置，对受光装置及与受光装置相关的部位的位置中的至少一者进行测量；使物体载置装置移动至受光装置可接受能量射束的位置，并使物体载置装置移动至可由测量装置来对受光装置的位置进行测量的位置，使用与受光装置接受能量射束时的物体载置装置的位置相关的第一信息及与使用测量装置来测量受光装置时的物体载置装置的位置相关的第二信息，控制由加工装置进行加工时的物体载置装置的位置与由测量装置进行测量时的物体载置装置的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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