[发明专利]用于结构和相关联设备的检查方法和设备在审
| 申请号： | 201980068958.5 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112867970A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | E·巴德尔;S·夏卡瓦米拉特;G·米瑟立;A·维尔马 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露一种用于从目标结构确定重叠度量的方法，包括获得与对所述目标结构的测量相关的角分辨分布光谱数据，所述角分辨分布光谱数据包括对称分量。根据所述角分辨分布光谱数据确定所述目标结构的特征的与重叠相关的轮廓，其中根据所述轮廓确定重叠度量。所述方法包括：将经曝光的特征曝光至遮蔽层上，所述遮蔽层包括限定所述层的遮蔽区域和未遮蔽区域的掩模，使得所述经曝光的特征的第一部分被曝光于所述层的遮蔽区域上且所述经曝光的特征的第二部分被曝光于所述层的未遮蔽区域上，第一部分相对于第二部分的大小是重叠相关的；和执行蚀刻步骤以限定经蚀刻的特征，所述经蚀刻的特征对应于所述经曝光的特征的第二部分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 结构 相关 设备 检查 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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