[发明专利]带电粒子束设备、场曲校正器、及操作带电粒子束设备的方法在审
| 申请号： | 201980067541.7 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112840431A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | T·凯门;B·J·库克;R·巴迪 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述一种带电粒子束设备(100)，所述带电粒子束设备(100)包括：束源(105)，经配置以产生沿着光轴(A)传播的的带电粒子束(101)；具有多个孔隙的孔隙设备(110)，所述孔隙经配置以从带电粒子束产生多个细束(102)；场曲校正器(120)。场曲校正器(120)包括：具有第一多个开口的第一多孔隙电极(121)，第一多个开口具有随着距光轴(A)的距离的函数而发生变化的直径；具有第二多个开口的第二多孔隙电极(122)；及调整设备(132)，经配置以调整第一多孔隙电极(121)的第一电位(U1)和第二多孔隙电极(122)的第二电位(U2)中的至少一者。另外，本发明描述一种场曲校正器(120)以及操作带电粒子束设备的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 设备 校正 操作 方法 | ||
【主权项】：
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