[发明专利]多极照明系统以及叠对度量系统有效
| 申请号： | 201980065223.7 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112840202B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | A·V·希尔;D·戈列里克 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种多极照明系统，其可包含：照明源，其用于产生源光束；一或多个声光偏转器，其用于沿至少两个方向衍射所述源光束；一或多个收集透镜，其用于收集从所述一或多个声光偏转器衍射的所述光的至少部分；及控制器，其用于产生用于所述一或多个声光偏转器的一或多个驱动信号。例如，所述一或多个驱动信号可引起所述一或多个声光偏转器产生两个或更多个照明光束的对称分布，所述照明光束由从所述一或多个声光偏转器衍射且由所述一或多个收集透镜收集的光形成，其中所述两个或更多个照明光束的波长及强度的分布在由第一方向及第二方向形成的平面中对称。 | ||
| 搜索关键词： | 多极 照明 系统 以及 度量 | ||
【主权项】：
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