[发明专利]金属囊封光电阴极电子发射器在审
| 申请号： | 201980059591.0 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112673448A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | G·德尔加多;K·艾奥凯密迪;F·希尔;G·洛佩兹;R·F·加西亚 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J1/304 | 分类号： | H01J1/304;H01J1/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种光电阴极结构，其可包含Cs2Te、CsKTe、CsI、CsBr、GaAs、GaN、InSb、CsKSb或金属中的一或多者，所述光电阴极结构在外表面上具有保护膜。所述保护膜包含钌、镍、铂、铬、铜、金、银、铝中的一或多者或其合金。所述保护膜可具有从1nm到10nm的厚度。所述光电阴极结构可用于如扫描电子显微镜的电子束工具中。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 光电 阴极 电子 发射器 | ||
【主权项】：
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