[发明专利]弹性波装置、弹性波滤波器以及复合滤波器装置有效
| 申请号： | 201980058436.7 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN112673570B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 中川亮;岩本英树 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64;H03H9/72;H04B1/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘慧群 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供一种不易产生纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)在包含硅的支承基板(2)上层叠有氧化硅膜(3)、钽酸锂膜(4)、IDT电极(5)以及保护膜(8)，关于钽酸锂膜的波长标准化膜厚T |
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| 搜索关键词： | 弹性 装置 滤波器 以及 复合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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