[发明专利]用于在涂层系统中产生层的装置和方法有效
| 申请号： | 201980052966.0 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN112585293B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | M·维尔戈;A·普夫卢格;S·布伦斯;Z·托拜厄斯 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人： | 孙涛;毛威 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在具有水平旋转的基板导引的涂层系统上产生具有非常好的均匀性的层的装置和方法。或者，可以设置特定的层厚度梯度。另外，粒子负荷大大降低。相较其他过程，使用寿命大大增加。寄生涂层减少。涂覆速率也有所提高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 涂层 系统 产生 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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