[发明专利]气体激光的气体成分监控装置在审
| 申请号： | 201980048019.4 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN112424696A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 车桐镐 | 申请（专利权）人： | 车桐镐 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国京畿道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体激光的监控装置，根据本发明，其与气体激光生成室侧连接，以使从所述气体激光生成室侧接收所流入的所述异种气体，且监控容纳在所述气体激光发光腔室的所述反应空间中的所述异种气体的成分，因此在气体激光生成室内引入或产生不必要的物质时能够迅速掌握该情况并采取对应措施。因此，公开一种能够确保激光束的稳定性的技术。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 激光 成分 监控 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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