[发明专利]蒸镀器主体有效
| 申请号： | 201980037537.6 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN112218974B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | P·戈茨 | 申请（专利权）人： | CVT股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/14;C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 王珺;林军 |
| 地址： | 德国哈*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在PVD金属化设备中蒸镀金属的蒸镀器主体(1)，其具有：上侧(3)，上侧具有第一和第二纵向边缘(5‑1，5‑2)以及第一和第二横向边缘(7‑1，7‑2)，横向边缘横向于纵向边缘延伸；和第一和第二纵向沟槽(11‑1，11‑2)，纵向沟槽构成在上侧(3)中，其中第一纵向沟槽(11‑1)相邻于且沿着第一纵向边缘(5‑1)延伸，并且第二纵向沟槽(11‑2)相邻于且沿着第二纵向边缘(5‑2)延伸，其中纵向沟槽(11‑1，11‑2)的端部距横向边缘(7‑1，7‑2)具有一定间距，并且其中由蒸镀器主体(1)的上侧(3)形成的内置的蒸镀面(13)由纵向沟槽(11‑1，11‑2)在纵向侧直接限界。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀器 主体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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