[发明专利]石英坩埚的透过率测定方法及装置在审
| 申请号： | 201980033232.8 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN112243493A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 清水泰顺;高梨启一;藤田刚司;北原江梨子;福井正德 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;C30B15/10;C30B29/06;G01N21/49 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;刘茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题在于提供一种能够准确地测定石英坩埚的透过率的测定方法及测定装置。其解决方案为，从配置在石英坩埚的一个壁面（1Wa）侧的光源（5），向石英坩埚的规定测定点照射平行光，在石英坩埚的另一个壁面（1Wb）侧的以另一个壁面（1Wb）上的平行光的出射点P为中心的同心圆（C |
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| 搜索关键词： | 石英 坩埚 透过 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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