[发明专利]石英坩埚的透过率测定方法及装置

权利要求书

1.一种石英坩埚的透过率测定方法，其特征在于，

从配置在石英坩埚的一个壁面侧的光源，向所述石英坩埚的规定测定点照射平行光，

在所述石英坩埚的另一个壁面侧的以所述另一个壁面上的所述平行光的出射点为中心的同心圆上的多个位置配置检测器，并在所述多个位置测定所述石英坩埚的透射光的受光水准，

根据在所述多个位置测定的所述透射光的多个受光水准，求出所述规定测定点下的所述石英坩埚的透过率。

2.根据权利要求1所述的透过率测定方法，其中，

通过使单一检测器沿着所述同心圆回转，将所述检测器配置在所述多个位置。

3.根据权利要求2所述的透过率测定方法，其中，

所述检测器相对于所述平行光光轴的最大回转角度为45°以上。

4.根据权利要求1所述的透过率测定方法，其中，

使用预先配置在所述多个位置的多个检测器，求出所述石英坩埚的透过率。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的透过率测定方法，其中，

在所述石英坩埚的外侧配置所述光源，

在所述石英坩埚的内侧配置所述检测器，

通过所述检测器接收从所述光源照射到所述石英坩埚的平行光，以非破坏的方式测定所述石英坩埚的透过率。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的透过率测定方法，其中，

通过使所述光源及所述检测器的位置沿着所述石英坩埚的所述壁面向高度方向移动，在所述石英坩埚的高度方向上的不同位置的多个测定点测定所述透过率。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的透过率测定方法，其中，

通过使所述光源及所述检测器与所述石英坩埚的相对位置，沿着所述石英坩埚的壁面向圆周方向移动，在所述石英坩埚的圆周方向上的不同位置的多个测定点测定所述透过率。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的石英坩埚的透过率测定方法，其中，

所述平行光是扩大从激光光源输出的激光束的光束直径而得的光。

9.根据权利要求8所述的石英坩埚的透过率测定方法，其中，

所述扩大的激光束的光束直径为5mm以上。

10.根据权利要求1～7中任一项所述的石英坩埚的透过率测定方法，其中，

所述平行光是将从激光光源输出的激光束变换为激光线光而得的光。

11.根据权利要求10所述的石英坩埚的透过率测定方法，其中，

所述激光线光的光点长度为10mm以上。

12.一种石英坩埚的透过率测定装置，其特征在于，具备：

光源,配置在石英坩埚的一个壁面侧，向所述石英坩埚的规定测定点照射平行光；

至少1个检测器,配置在所述石英坩埚的另一个壁面侧，接收所述石英坩埚的透射光；及

透过率计算部，根据通过所述检测器测定的所述透射光的受光水准计算所述石英坩埚的透过率，

所述检测器，在以所述另一个壁面上的所述平行光的出射点为中心的同心圆上的多个位置测定所述石英坩埚的透射光的受光水准，

所述透过率计算部，根据在所述多个位置测定的所述透射光的多个受光水准，求出所述规定测定点下的所述石英坩埚的透过率。

13.根据权利要求12所述的透过率测定装置，还具备使单一检测器沿着所述同心圆回转的回转机构。

14.根据权利要求13所述的透过率测定装置，其中，

所述检测器相对于所述平行光的光轴的最大回转角度为45°以上。

15.根据权利要求12所述的透过率测定装置，还具备分别配置在所述多个位置的多个检测器。