[发明专利]流体控制设备

摘要

本发明提供一种在流体控制设备中即使流体的漏出微小的情况下也能够高精度地探测到漏出的技术。流体控制设备(V1)具有：阀主体(1)，形成有流路；隔膜(22)，将封闭空间(S2)从流路隔离；阀盖(24)，与隔膜(22)之间形成封闭空间(S2)，并且该阀盖设置有贯插孔(241a)，该贯插孔与封闭空间(S2)连通且供隔膜压件(23)能够上下移动地进行贯穿插入；隔膜压件(23)，在贯插孔(241a)内上下移动来按压隔膜(22)，并且设置有使得所述隔膜压件(23)不能从贯插孔(241a)拔出的扩径部(232)；压力传感器(P)，检测封闭空间(S2)内的压力；以及弹性体(6)，在封闭空间(S2)内夹设于隔膜压件(23)的扩径部(232)与阀盖(24)之间，伴随着隔膜压件(23)的上下移动而在隔膜压件(23)的扩径部(232)与阀盖(24)之间弹性地膨胀收缩。