[发明专利]压电器件的形成在审
| 申请号： | 201980028976.0 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN112088438A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 大卫·休斯;戴斯蒙德·吉布森;丹尼尔·欧文 | 申请（专利权）人： | 诺沃声波有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;B06B1/06;H01L41/187;H01L41/316;H01L41/332 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黄隶凡 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于生产超声换能器或超声换能器阵列的方法，该方法包括：在衬底上设置或沉积压电材料层。压电材料是掺杂的、共沉积的或合金化的压电材料。压电材料包括：掺杂的、共沉积的或合金化的金属氧化物或金属氮化物，该金属氧化物或金属氮化物与钒或其化合物掺杂、共沉积或合金化；或者与过渡金属或其化合物掺杂、共沉积或合金化的氧化锌。可选地，压电材料层的沉积是通过例如使用包括掺杂或合金化的压电材料的溅射靶的溅射镀膜来实现的。在示例中，压电材料层使用高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)来沉积到衬底上。在压电材料层的沉积期间，可以使用衬底偏置(例如DC和/或RF)来获得进一步的增强。在另外的示例中，衬底在沉积压电材料层时设置在转鼓上。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 形成 | ||
【主权项】：
暂无信息
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