[发明专利]用于对准仪器的光源的方法以及相关的仪器在审
| 申请号： | 201980025675.2 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN112004602A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 伊恩·麦格雷戈;斯科特·柯林斯;乔-安·罗;斯宾塞·洛维特;安迪·维奥莉特;詹姆斯·范戈登;杰德·布洛克 | 申请（专利权）人： | 生物梅里埃有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;B65B5/04;H01J49/02 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 美国北卡罗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供多种用于一仪器的方法，所述仪器包括一光源。一种用于一仪器的方法，包括：一光源，从所述光源提供光到一处理腔室中的一目标位置。所述方法包括在一传感器处接收所述光。所述方法包括：使用来自所述传感器的数据来确定位于所述目标位置的所述光的一第一位置。此外，所述方法包括：确定是否将所述光调整到位于所述目标位置的一第二位置。本发明还提供多种相关的仪器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 仪器 光源 方法 以及 相关 | ||
【主权项】：
暂无信息
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