[发明专利]镀敷造形物的制造方法在审
| 申请号： | 201980021981.9 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN111919174A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 桃泽绫;黑岩靖司;片山翔太;山本悠太;海老泽和明 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;C25D5/02;C25D5/34;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;H05K3/18 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀敷造形物的制造方法，能够抑制在使用感光性组合物来形成作为镀敷造形物形成用的铸模使用的图案时的该图案中的底脚，同时能够使用所述铸模形成对基板上的金属表面的密合性良好的镀敷造形物。使用包含规定的结构的含硫化合物及/或含氮化合物的感光性组合物形成用作镀敷造形物形成用的铸模的抗蚀剂图案，并在形成镀敷造形物前，对从作为铸模使用的抗蚀剂图案的非抗蚀剂部中所露出的、由金属构成的表面实施灰化。 | ||
| 搜索关键词： | 造形 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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