[发明专利]将表面纹理化而不使用喷砂在审
| 申请号： | 201980016675.6 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111801624A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 刚·彭;大卫·W·格罗歇尔;杰恩·C·周;黄拓川;王韩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种为部件表面提供纹理的系统，所述部件使用在半导体处理腔室中。所述系统包含：外壳，所述外壳包含处理区域；设置在处理区域中的支撑件；用于产生光子流的光子光源；被可操作地耦合至光子光源的光学模块；以及透镜。所述光学模块包含光束调制器与光束扫描器，光束调制器用于从由光子光源产生的光子流产生光子束，光束扫描器用于使光子束跨部件表面进行扫描。透镜用于接收来自光束扫描器的光子束，并跨部件的表面分布光子束，以在部件上形成多个特征，所述光子束的波长在约345nm与约1100nm之间的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 纹理 使用 喷砂 | ||
【主权项】：
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