[发明专利]受引导的图案化装置的检查有效
| 申请号： | 201980014812.2 | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111801623B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | A·B·范奥斯滕;V·韦恩卡特森;J·N·威利;R·T·普拉齐 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/84 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文中描述了一种用于图案化装置的检查的方法。该方法包括：获取(i)图案化装置制造工艺的图案化装置设备数据，(ii)基于图案化装置设备数据的图案化装置衬底图，以及(iii)基于图案化装置衬底图的、经预测的与图案化装置相对应的工艺窗口限制的图案位置；以及由硬件计算机系统基于工艺窗口限制的图案位置将图案化装置检查设备引导到工艺窗口限制的图案位置以进行缺陷检查。 | ||
| 搜索关键词： | 引导 图案 化装 检查 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980014812.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
