[发明专利]气体供应容器有效
申请号: | 201980014392.8 | 申请日: | 2019-02-21 |
公开(公告)号: | CN111771081B | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | J·R·德普雷斯;R·泽勒;E·D·拉博尔德 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
主分类号: | F17C11/00 | 分类号: | F17C11/00;F17C13/04 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 李婷 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明揭示一种用于存储及施配试剂气体的气体供应容器,其包含过滤器,使得所述容器能够在其过滤之后以高纯度水平来输送所述试剂气体。所述过滤器包含多孔烧结主体,且在低压下,在以相对较低流动速率且伴随跨越所述过滤器的相对较低压降从所述容器输送期间,通过使供应试剂气体通过所述过滤器流动,而有效地提供所述试剂气体的所要纯度水平。 | ||
搜索关键词: | 气体 供应 容器 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于恩特格里斯公司,未经恩特格里斯公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980014392.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:聚酰胺610复丝
- 下一篇:液晶元件用密封剂、上下导通材料和液晶元件