[发明专利]用于使基座与驱动轴连接的装置有效
| 申请号： | 201980014128.4 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111788338B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | T.W.巴斯特克;F.鲁达维特;M.普菲斯特雷尔 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在驱动轴(40)上固定CVD反应器的基座(31)的装置，利用所述装置可以使所述基座(31)以旋转的方式移动。所述驱动轴(40)承载底板(3)，在所述底板(3)上固定承载板(2)，所述承载板(2)承载所述基座(31)。通过调节杠杆(16)可以调节所述承载板(2)相对于所述底板(3)的倾斜度。所述承载板(20)利用螺栓(8)与法兰元件(4)连接。利用塞件(46)封闭与所述螺栓(8)对准布置的贯穿开口(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基座 驱动 连接 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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