[发明专利]利用极紫外辐射源的表面层破坏和电离在审
申请号: | 201980009929.1 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN111630624A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 乌多·H·维尔凯克;弗拉迪米尔·罗曼诺夫;艾利森·詹宁斯;汉·T·莱;阿兰·霍普金森 | 申请(专利权)人: | 拉皮斯坎系统股份有限公司 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04;H01J49/10;H01J49/14;H01J27/26;H01J49/16;H01J49/26 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 刘丹 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于痕量检测系统的表面电离器包括极紫外光源和离子传输线。极紫外光的激活会破坏样本表面和残留物,并电离产生的蒸汽。所述电离蒸汽收集在离子传输线中,并传送到分析装置中,用于检测蒸汽中的成分。 | ||
搜索关键词: | 利用 紫外 辐射源 表面 破坏 电离 | ||
【主权项】:
暂无信息
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