[发明专利]涂布装置及涂布系统有效
申请号: | 201980008998.0 | 申请日: | 2019-03-19 |
公开(公告)号: | CN111629838B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 曾根信幸;池山裕介;大岛笃;坂本孝博 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | B05C1/16 | 分类号: | B05C1/16;B05C1/08;B05C9/04;B05C11/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种用1个棒将至少2种涂布液同时涂布成带状图案的涂布装置及涂布系统。涂布装置具有:长条的棒,经由涂布液而与在特定的行驶方向上连续行驶的长条的基板的至少一个面接触并旋转,且在与行驶方向正交的宽度方向上延伸;及堰板,相对于棒而设置于基板的行驶方向的上游,使涂布液通过该堰板与棒之间并向基板的行驶方向流通。涂布装置具有:主体块,将棒支承为能够旋转;多个堰板,沿着棒的长度方向而配置;及多个供给部,按每个堰板设置,向堰板供给涂布液。涂布系统中,隔着基板对向配置涂布装置而在基板的两个面将涂布液同时涂布成图案状。 | ||
搜索关键词: | 装置 系统 | ||
【主权项】:
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