[发明专利]压力传感器装置在审
| 申请号： | 201980007511.7 | 申请日： | 2019-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN111566463A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 铃宗一郎 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的压力传感器装置具备具有外部连接端子的第一基板、层叠于上述第一基板的上面且形成有第一贯通开口部以及第二贯通开口部的第二基板、具有隔膜构造且以通过上述隔膜构造堵塞上述第一贯通开口部的方式搭载于上述第二基板的上面的压力传感器元件、以覆盖上述压力传感器元件的方式搭载于上述第二基板的上面且形成向上述隔膜构造的上面引导第一流体的第一流路的罩。在上述第一基板与上述第二基板之间形成从上述第二贯通开口部与上述第一贯通开口部连通且向上述隔膜构造的下面引导第二流体的第二流路。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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