[发明专利]静电卡盘装置有效
| 申请号： | 201980006265.3 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN111837329B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 前田进一 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00;H01L21/3065;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的静电卡盘装置中，基体的厚度方向上的截面形状呈从一主面的中心朝向外周逐渐弯曲的凸状曲面或凹状曲面，设置有绕基体的一主面上的周缘部一周的环状突起部，在被环状突起部包围的区域设置有多个凸状突起部，位于一主面的中心的凸状突起部的顶面的高度与环状突起部的上表面的高度之差为1～30μm，凸状突起部具有与板状试样接触的顶面、侧面及连接顶面和侧面的R面，顶面的直径与底面的直径之比为0.75以上，凸状突起部的顶面与侧面所成的角度为90°以上且160°以下。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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