[实用新型]一种流水线式等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201922492354.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211182152U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 刘鑫培;沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京润川律师事务所 11643 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种流水线式等离子体处理装置，包括机架组件、处理组件、传输组件，所述传输组件的数量为一组，每个所述传输组件分别设置在所述机架组件的两端；所述机架组件包括主体框架、外框钣金，所述主体框架设置在所述外框钣金内；所述处理组件设置在所述主体框架上，所述处理组件包括真空腔、电极、抽真空接头；本实用新型解决了现有技术中等离子体处理装置的处理效率低、等离子体处理均匀性有限的缺陷，本实用新型能够实现对产品进行流水线式等离子体处理，提高处理效率，提高等离子体处理的均匀性，从而提高产品的处理质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流水线 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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