[实用新型]一种真空镀膜机膜厚均匀性精密调整装置有效
| 申请号： | 201922486474.2 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211848127U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 苏雄宇;陈宪纬;刘振波 | 申请（专利权）人： | 深圳海容高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 荆门市森皓专利代理事务所(普通合伙) 42253 | 代理人： | 王青松 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜机技术领域，尤其为一种真空镀膜机膜厚均匀性精密调整装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有支撑座，所述支撑座的顶部连接有固定板，所述固定板的底部通过螺钉连接有磁控溅射靶片，所述支撑座的顶部通过螺钉固定连接有第一Z字板。通过在磁控溅射靶片与基片之间设计支撑座，支撑座安装的限位调节机构将磁控溅射镀膜的均匀性差别缩小，使用手轮配合丝杆对基片的镀膜位置进行调整，基片镀膜位置的变化抵消电场对电子运动轨迹造成的偏移，通过此装置的机械方法调整，调整的同时没有改变镀膜工艺的气体、电压、电流等因素，稳定可靠，并能做到很高的精度，加工简便，成本低，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机膜厚 均匀 精密 调整 装置 | ||
【主权项】：
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