[实用新型]一种PERC电池背面复合钝化膜

摘要

本实用新型公开了一种PERC电池背面复合钝化膜，它包括在硅片背面依次沉积的氧化铝层、氮氧化硅层、第一氮化硅层和第二氮化硅层。本实用新型在硅片背面依次沉积四个膜层，其中，氧化铝层的固定负电荷密度高达1013/cm2，可提供优异的场效应钝化作用；氮氧化硅层的化学稳定性高，可以提高氧化铝介质层电荷稳定性，加强场钝化效应；最后分步沉积两层氮化硅层，可提升氮化硅层成膜均匀性，提高钝化效果，同时，利用NH3提供充足的氢原子，形成高氢介质膜，退火时，释放H扩散到里层与悬挂键结合，降低载流子复合，提高少子寿命，提高光电转化效率。因此，本实用新型能够提升背面钝化效果，进而提高光电转化效率。