[实用新型]坩埚杆及直拉单晶炉有效
| 申请号： | 201922421356.3 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211471632U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 魏炜;雷同光;李燕 | 申请（专利权）人： | 有研光电新材料有限责任公司;有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 董李欣 |
| 地址： | 065001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种坩埚杆及直拉单晶炉，所述坩埚杆的内部具有冷却水循环管路，并且所述冷却水循环管路沿着所述坩埚杆的高度方向设置；所述冷却水循环管路的进水口和至少一个出水口均设置在所述坩埚杆的底部。该坩埚杆能有效降低坩埚杆实用过程中的温度，有效保护密封结构，最终保障单晶成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 直拉单晶炉 | ||
【主权项】：
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